Tikslus matavimas – tai labai tikslių duomenų, artimų tikrąjai vertei, gavimas kontroliuojant matavimo paklaidas labai mažame diapazone naudojant pažangias technologines priemones.
1. Siauras-jutimo tikslumas (geometrinis kiekio matavimas)
Tai visų pirma orientuota į tikslų geometrinių parametrų, pvz., ilgio, kampo ir formos, dažniausiai sutinkamų gaminant tikslias mechanines dalis, nustatymą. Pavyzdžiui, lustinių litografijos mašinų gamybos procese pagrindinių komponentų matmenų paklaida turi pasiekti nanometrų lygį, todėl reikia išmatuoti sub-mikroninį lygį ir kalibruoti naudojant didelio-tikslumo įrangą, pvz., lazerinius interferometrus.
2. Platus-prasmės tikslumo matavimas (daugiamatis fizinio kiekio matavimas)
Tai apima fizinių dydžių, pvz., temperatūros, elektromagnetinių savybių ir skysčių charakteristikų, matavimą, remiant aukščiausios kokybės{0}}gamybą ir pažangiausius{1}}mokslinius tyrimus. Palydovinės padėties valdymo sistemos reikalauja vienu metu stebėti kelis parametrus, pvz., giroskopo kampinio greičio matavimą (tikslumas siekia 0,001 laipsnio / h) ir laivo laikrodžio dažnio stabilumo aptikimą (paklaida mažesnė nei 1 × 10⁻¹³).
3. Pagrindiniai įgyvendinimo elementai
• Matavimo aplinkos kontrolė: vakuumo pastovios{0}}temperatūros laboratorija, reikalinga gravitacinėms bangoms aptikti, turi slopinti temperatūros svyravimus 0,01 laipsnio tikslumu.
• Prietaiso tikslumo lygis: atominio laikrodžio laiko atskaitos įrenginiai gali pasiekti ne didesnę kaip 1 sekundės paklaidą per dešimtis milijonų metų.
• Klaidų pašalinimo technologija: koordinačių matavimo mašinos naudoja kelių{0}}zondų kompensavimo algoritmus, kad sumažintų sistemos klaidas iki mažiau nei 0,5 mikrometro.